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【2h】

A highly sensitive a-Si photodetector array with integrated filter for optical detection in MEMS

机译：具有集成滤波器的高灵敏度a-Si光电探测器阵列，用于MEMS中的光学检测

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作者
Moridi, M; Tanner, S; Wyrsch, N; Farine, P.A.; Rohr, S;
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作者单位

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年度 2009
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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